從一開始,Rohsonics就一直在進行研究和設計,以創造市場上最好的技術濃度和密度分析儀,Rohsonics的測量儀器可用于許多最關鍵和最苛刻的應用。例如,這些儀器用于疏浚船上、礦物加工廠的密度測量,以及電子/半導體行業中三元或四元液體中的濃度測量。
Rohsonics正在幫助礦物加工行業創造一個安全、愉快的工作環境。Rhosonics通過提供用于漿料密度測量的非核技術來做到這一點。Rhosonics的超聲波密度計消除了與輻射源設備相關的所有成本、健康和安全風險。此外,該設備易于使用,無需任何許可證,并提供可靠的密度值來監控和提高生產輸出。在越來越多的工業應用中,密度測量不再需要使用輻射源。
Rohsonics開發了超聲波SDM密度計,以準確可靠地測量礦漿的密度。Rohsonics在磷酸鹽、金、銀、鐵礦石和許多其他礦物加工操作的采礦泥漿在線測量方面擁有豐富的經驗。在線密度測量對于監測分離過程非常有用,尤其是當您考慮如果產品不一致或質量太低時會發生什么。應用示例包括研磨回路中的密度測量、浮選回路和濃縮工藝等。
Rhosonics的超聲波技術通過同時實時監測多種化學品濃度,可以更好地監督過程。 技術的選擇取決于需要測量的化學溶液中的濃度,Rhosonics的測量精度可達0.0001重量±%。值得一提的是,Rhosonics技術可用于以下領域的一些主要化學品或化學濃度:
清潔和拋光:CMP漿料,H2O2,HF,NH3,BHF,KOF,HNO3,SC1,SC2,APM,食人魚溶液,HCl,C6H8O7:H20,王水,碘溶液,鹽酸,HNO3,C3H8O(異丙醇),C3H6O(丙酮),(CH3)2CHOH,APM
光刻膠和剝離:TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, 二甲基亞砜 (DMSO), CeO2
蝕刻:四甲基氫氧化銨,四甲基銨+ PR + CO3,TBHA,H2SO4,HF,HNO3,KOH,C2HCl3,海航
使用Rhosonics超聲波技術可以虛擬測量生產過程中任何類型的化學品或固體溶液。除了半導體應用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝,其中Rhosonics技術也可以應用。超聲波技術可以虛擬測量生產過程中任何類型的化學品或固體溶液。除了半導體應用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝。
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Rhosonics幫助平板顯示器行業使用超聲波技術進行在線實時測量,通過該技術可以實現過程優化,從而實現更安全、更可靠、可持續和具有成本效益的操作,這就是Rhosonics為智能和綠色世界做出貢獻的方式。
Rhosonics分析為化學混合中的在線分析提供解決方案,在線分析儀服務于幾乎所有電子行業,可用于以下應用:
LCD和TFT制作
Rhosonics在線過程分析儀廣泛用于LCD平板顯示器的生產。在這個行業中,使用蝕刻劑(ITO-Etch),剝離劑和顯影劑(如TMAH)。光刻膠的測量在這個行業中變得越來越重要。
羅索尼斯開發了一種用于測量TMAH+PR的特殊儀器(CCM B32),剝離劑用于去除光刻過程中殘留的光刻膠,檸檬酸通常用作乙酸的替代品,醋酸通常會在暗室中留下強烈的氣味。Rhosonics能夠在線測量這些液體。洗滌劑和表面活性劑可以很容易地測量。
光刻
在平板顯示器過程中,濃度測量對于防止清潔或濕法蝕刻過程中出現問題非常重要。
• 清洗步驟 在工藝步驟
之后,應用化學品清潔使用的材料,以防止在下一步中污染。清潔步驟的目標是去除先前步驟中可能影響后續步驟性能的殘留物。清潔化學品應具有正確的濃度,以有效清潔晶圓表面。否則,晶圓可能含有不需要的有機/無機材料。 未正確清潔的晶圓在生產線完成后將無法達到所需的質量。因此,該產品將被計為有缺陷的產品或作為低性能芯片出售。
• 開發步驟
裸露的晶圓在浸浴中或通過噴涂進行顯影。暴露區域將被移除或保留,具體取決于抗蝕劑類型(負或正)。此步驟對于創建完美的抗蝕劑圖案以控制基板的哪個部分將被蝕刻非常重要。正抗蝕劑或負極抗蝕劑模式應與預期相同,否則,在下一步中將去除基材的錯誤區域,從而導致無效產品。 與光刻工藝的每個生產步驟一樣,精度是在開發階段實現預期結果的關鍵。光刻膠顯影劑(例如TMAH)的濃度應保持在最佳范圍內,以有效去除預期區域中的光刻膠。
例如,典型的四甲基氫氧化銨溶液應保持在2.38%-2.62%的濃度之間。實時和準確的分析儀將有助于控制化學性質并進行有效操作。
• 濕法蝕刻步驟
濕法蝕刻(或各向同性蝕刻)是一種快速蝕刻材料的方法。在濕法蝕刻工藝中,不同類型的化學品用于在某些材料(通常是硅晶片)的基板上創建圖案。現在的趨勢是更小、更緊湊的芯片組,因此這個過程的挑戰是使用正確的化學濃度在基板中精確地創建更復雜的圖案。
Rhosonics CDM代表基于化學的漿料密度計,該類別的儀器允許實時測量密度。CDM 采用堅固的設計,傳感器由高耐腐蝕和耐磨材料制成,可承受惡劣的工藝條件。
化學密度計可用于各種需要測量化學漿液或液體的應用。使用該技術的一些行業是:
• 采礦
• 礦石精煉廠
• 紙漿和造紙
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